上海溪瑾新材料科技有限公司
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液氮：
|
品名 |
纯度 |
杂质含量 |
N2 |
|
纯液氮 |
≥99.999% |
ppm |
≤100 |
液氩：
|
品名 |
纯度 |
杂质含量 |
N2 |
O2 |
H2 |
总碳 |
|
高纯液氩 |
≥99.999% |
ppm |
≤4 |
≤2 |
≤1 |
≤2 |
|
纯液氩 |
≥99.99% |
ppm |
≤50 |
≤10 |
≤5 |
≤10 |
液氧：
|
纯度 |
杂质含量 |
Ar |
N2 |
CH4 |
CO2 |
|
≥99.995% |
ppm |
≤5 |
≤20 |
≤2 |
≤1 |