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服务项目
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电子气体
项目 Items |
单位 Unit |
企业标准 Company Standard |
检测结果 Test Results |
||
SF6 |
Vol.% |
≥99.995 |
≥99.999 |
99.998 |
99.9997 |
CF4 |
Vol.% |
≥99.995 |
≥99.999 |
99.998 |
99.9997 |
NF3 |
Vol.% |
≥99.99 |
≥99.996 |
99.99 |
99.998 |