气体名称 

化学式 

纯度(%) 

杂质（ppm） 

氮气 

N₂ 

99.999%

O₂≤3, H₂≤1, CO≤1, CO₂≤1, CH₄≤1, H₂O≤3

99.9999%

H₂O≤0.2, O₂≤0.2, H₂≤0.1, CO₂≤0.1, CO≤0.1, CH₄≤0.2

氢气 

H₂ 

99.999%

O₂≤1, N₂≤5, CO≤1, CO₂≤1, CH₄≤1, H₂O≤3

99.9999%

H₂O≤1, O₂≤0.2, N₂≤0.4, CO₂≤0.1, CO≤0.1, CH₄≤0.2

氧气 

O₂ 

99.999%

H₂≤0.5, Ar≤2, N₂≤5, CO₂≤0.5, total hydrocarbon≤0.5, H₂O≤2

99.9999%

H₂≤0.1, Ar≤0.2, N₂≤0.1, CO₂≤0.1, total hydrocarbon≤0.1, H₂O≤0.5

氩气 

Ar

99.999%

H₂≤0.5, O₂≤1.5, N₂≤4, CH₄+CO+CO₂≤1, H₂O≤3

99.9999%

H₂O≤0.2, O₂≤0.2, H₂≤0.1, CO₂≤0.1, CO≤0.1, CH₄≤0.2, N₂≤0.5

氦气 

He

99.999%

O₂≤1, H₂O≤2, H₂≤1, 总烃≤3

99.9999%

H₂O≤0.2, O₂≤0.2, H₂≤0.1, CO₂≤0.1, CO≤0.1, CH₄≤0.2, N₂≤0.5

二氧化碳 

CO₂ 

99.999%

O2≤1, H₂O≤2, N₂≤5, CO≤1, HC≤1

一氧化碳 

CO

99.5%

H₂≤3180，N₂≤1350, O₂≤60, H₂O≤50

99.95%

N₂≤350, O₂≤50, H₂O≤5

二氧化硫 

SO₂ 

99.9%

O₂+N₂≤100, H₂O≤10, 其他≤200

硫化氢 

H₂S

99.9%

SO₂<100，CO₂<300，H₂O<5

一氧化氮 

NO

99.5%

N₂O≤4000, NO₂≤2000, N₂≤300, CO≤500

二氧化氮 

NO₂ 

99.9%

N₂≤20, O₂≤5, H₂O≤50

氧化亚氮(笑气)

N₂O

99.99%

CO₂ <0.5, CO<0.1, total hydrocarbon<0.1, N₂<90, O₂<5, H₂<2，Ar<0.5, H₂O<1.0