气体名称 

化学式 

纯度(%) 

杂 质（ppm） 

氖 

Ne 

99.99% 

N₂≤100 CO₂≤1 CH₄≤1

99.999% 

O₂≤1, N₂≤5, H₂O≤2, He≤10 

氪 

Kr 

99.95% 

Xe≤50 N₂≤1.5 O₂+Ar≤5 H₂≤2 CO₂≤1 CO≤1 CH₄≤1 H₂≤3

99.99% 

N₂≤20 O₂+Ar≤5 H₂≤2 总碳≤1 H₂O≤3 Xe≤50 总杂质含量≤100

99.995% 

N₂≤10 O₂+Ar≤2 H₂≤1 总碳≤1 H₂O≤3 Xe≤3 总杂质含量≤10

99.999% 

N₂≤3 O₂+Ar≤2 H₂≤0.5 总碳≤1 H₂O≤2.6 Xe≤4 总杂质含量≤10

99.9999% 

Xe≤0.01, O₂≤0.08, N₂≤0.43, CO₂≤0.12, CH₄≤0.1, H₂O≤0.1, CF₄≤0.01, C₄F₆≤0.01 

氙 

Xe 

99.95% 

CO₂≤5 CH₄≤5 CH₄≤1 N₂O≤5 H₂O≤5

99.99% 

N₂≤20 O₂+Ar≤5 H₂≤2 总碳≤3 H₂O≤3 Kr≤30 N₂O≤1 总杂质含量≤100

99.995% 

N₂≤10 O₂+Ar≤4 H₂≤1 总碳≤2 H₂O≤3 Kr≤30 N₂O≤1 总杂质含量≤100

99.999% 

N₂≤1 O₂+Ar≤2 H₂≤0.5 总碳≤1 H₂O≤2.5 Kr≤5 N₂O≤0.5 总杂质含量≤10

99.9999%

氦气 

He 

99.999% 

O₂≤1, H₂O≤2, H₂≤1, 总烃≤3 

99.9999% 

H₂O≤0.2, O₂≤0.2, H₂≤0.1, CO₂≤0.1, CO≤0.1, CH₄≤0.2, N₂≤0.5